Scientific Library of Tomsk State University

   E-catalog        

Normal view MARC view

Физические особенности функционирования планарного магнетрона с нагреваемой в разряде термоизолированной мишенью для нанесения покрытий на основе бора (Record no. 725487)

000 -Маркер записи
Контрольное поле постоянной длины 03944nab a2200397 c 4500
001 - Контрольный номер
Контрольное поле koha000725487
005 - Дата корректировки
Контрольное поле 20240226172047.0
007 - Кодируемые данные (физ. описан.)
Контрольное поле постоянной длины cr |
008 - Кодируемые данные
Контрольное поле постоянной длины 220119|2021 ru s c rus d
024 7# - Прочие стандартные номера
Стандартный номер 10.17223/00213411/64/12/3
Источник номера doi
035 ## - Системный контрольный номер
Системный контрольный номер koha000725487
040 ## - Источник каталогиз.
Служба первич. каталог. RU-ToGU
Код языка каталог. rus
Служба, преобразующая запись RU-ToGU
245 10 - Заглавие
Заглавие Физические особенности функционирования планарного магнетрона с нагреваемой в разряде термоизолированной мишенью для нанесения покрытий на основе бора
Ответственность А. В. Визирь, А. Г. Николаев, Е. М. Окс [и др.]
336 ## - Тип содержимого
Тип содержимого Текст
337 ## - Средство доступа
Средство доступа электронный
504 ## - Библиография
Библиография Библиогр.: 22 назв.
506 ## - Ограничения на доступ к материалу
Ограничения доступа Ограниченный доступ
520 3# - Аннотация
Аннотация Представлены принцип работы и конструкция планарного магнетрона для нанесения покрытий из чистого бора. Особенностью устройства является использование термоизолированного катода-мишени из чистого кристаллического бора, нагреваемого вспомогательным слаботочным разрядом для обеспечения стабильного функционирования магнетронного разряда. Это позволяет реализовать в магнетроне как непрерывный режим работы, так и импульсный режим самораспыления, при котором в плазме разряда ионы бора превалируют над ионами рабочего газа. Другой особенностью магнетрона является использование щелевого анода специальной конструкции, обеспечивающего стабильную и длительную работу устройства при осаждении на поверхность анода неэлектропроводной пленки бора. При использовании импульсного разряда с амплитудой тока 40 А при длительности импульсов 400 мкс и частоте их повторения 25 Гц скорость нанесения покрытий из чистого бора на подложку, установленную на расстоянии 10 см от катода, была сравнима со скоростью нанесения покрытий в магнетронном разряде с постоянным током 300 мА и составляла 20−30 нм/мин.
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова пленки бора
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова плазма
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова планарные магнетроны
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова нагреваемая мишень из бора
655 #4 - Термин индексирования — жанр/форма
Жанр/форма статьи в журналах
9 (RLIN) 879358
700 1# - Другие авторы
Другие авторы Визирь, Алексей Вадимович
9 (RLIN) 473759
700 1# - Другие авторы
Другие авторы Николаев, Алексей Геннадьевич
9 (RLIN) 473760
700 1# - Другие авторы
Другие авторы Окс, Ефим Михайлович
9 (RLIN) 278857
700 1# - Другие авторы
Другие авторы Фролова, Валерия Петровна
9 (RLIN) 500415
700 1# - Другие авторы
Другие авторы Черкасов, Александр Алексеевич
9 (RLIN) 487930
700 1# - Другие авторы
Другие авторы Шандриков, Максим Валентинович
9 (RLIN) 347596
700 1# - Другие авторы
Другие авторы Юшков, Георгий Юрьевич
9 (RLIN) 324961
773 0# - Источник информации
Название источника Известия высших учебных заведений. Физика
Место и дата издания 2021
Прочая информация Т. 64, № 12. С. 3-10
ISSN 0021-3411
Контрольный № источника 0026-80960
852 4# - Местонахождение единицы хранения
Код организации-хранителя RU-ToGU
856 4# - Электронный адрес документа
URL <a href="http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:000725487">http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:000725487</a>
908 ## - Параметр входа данных
Параметр входа данных статья
999 ## - Системные контрольные номера (Koha)
biblionumber (Koha) 725487

No items available.