Normal view
MARC view
Физические особенности функционирования планарного магнетрона с нагреваемой в разряде термоизолированной мишенью для нанесения покрытий на основе бора (Record no. 725487)
[ view plain ]
000 -Маркер записи | |
---|---|
Контрольное поле постоянной длины | 03944nab a2200397 c 4500 |
001 - Контрольный номер | |
Контрольное поле | koha000725487 |
005 - Дата корректировки | |
Контрольное поле | 20240226172047.0 |
007 - Кодируемые данные (физ. описан.) | |
Контрольное поле постоянной длины | cr | |
008 - Кодируемые данные | |
Контрольное поле постоянной длины | 220119|2021 ru s c rus d |
024 7# - Прочие стандартные номера | |
Стандартный номер | 10.17223/00213411/64/12/3 |
Источник номера | doi |
035 ## - Системный контрольный номер | |
Системный контрольный номер | koha000725487 |
040 ## - Источник каталогиз. | |
Служба первич. каталог. | RU-ToGU |
Код языка каталог. | rus |
Служба, преобразующая запись | RU-ToGU |
245 10 - Заглавие | |
Заглавие | Физические особенности функционирования планарного магнетрона с нагреваемой в разряде термоизолированной мишенью для нанесения покрытий на основе бора |
Ответственность | А. В. Визирь, А. Г. Николаев, Е. М. Окс [и др.] |
336 ## - Тип содержимого | |
Тип содержимого | Текст |
337 ## - Средство доступа | |
Средство доступа | электронный |
504 ## - Библиография | |
Библиография | Библиогр.: 22 назв. |
506 ## - Ограничения на доступ к материалу | |
Ограничения доступа | Ограниченный доступ |
520 3# - Аннотация | |
Аннотация | Представлены принцип работы и конструкция планарного магнетрона для нанесения покрытий из чистого бора. Особенностью устройства является использование термоизолированного катода-мишени из чистого кристаллического бора, нагреваемого вспомогательным слаботочным разрядом для обеспечения стабильного функционирования магнетронного разряда. Это позволяет реализовать в магнетроне как непрерывный режим работы, так и импульсный режим самораспыления, при котором в плазме разряда ионы бора превалируют над ионами рабочего газа. Другой особенностью магнетрона является использование щелевого анода специальной конструкции, обеспечивающего стабильную и длительную работу устройства при осаждении на поверхность анода неэлектропроводной пленки бора. При использовании импульсного разряда с амплитудой тока 40 А при длительности импульсов 400 мкс и частоте их повторения 25 Гц скорость нанесения покрытий из чистого бора на подложку, установленную на расстоянии 10 см от катода, была сравнима со скоростью нанесения покрытий в магнетронном разряде с постоянным током 300 мА и составляла 20−30 нм/мин. |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | пленки бора |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | плазма |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | планарные магнетроны |
653 ## - Ключевые слова | |
Ключевые слова | нагреваемая мишень из бора |
655 #4 - Термин индексирования — жанр/форма | |
Жанр/форма | статьи в журналах |
9 (RLIN) | 879358 |
700 1# - Другие авторы | |
Другие авторы | Визирь, Алексей Вадимович |
9 (RLIN) | 473759 |
700 1# - Другие авторы | |
Другие авторы | Николаев, Алексей Геннадьевич |
9 (RLIN) | 473760 |
700 1# - Другие авторы | |
Другие авторы | Окс, Ефим Михайлович |
9 (RLIN) | 278857 |
700 1# - Другие авторы | |
Другие авторы | Фролова, Валерия Петровна |
9 (RLIN) | 500415 |
700 1# - Другие авторы | |
Другие авторы | Черкасов, Александр Алексеевич |
9 (RLIN) | 487930 |
700 1# - Другие авторы | |
Другие авторы | Шандриков, Максим Валентинович |
9 (RLIN) | 347596 |
700 1# - Другие авторы | |
Другие авторы | Юшков, Георгий Юрьевич |
9 (RLIN) | 324961 |
773 0# - Источник информации | |
Название источника | Известия высших учебных заведений. Физика |
Место и дата издания | 2021 |
Прочая информация | Т. 64, № 12. С. 3-10 |
ISSN | 0021-3411 |
Контрольный № источника | 0026-80960 |
852 4# - Местонахождение единицы хранения | |
Код организации-хранителя | RU-ToGU |
856 4# - Электронный адрес документа | |
URL | <a href="http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:000725487">http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:000725487</a> |
908 ## - Параметр входа данных | |
Параметр входа данных | статья |
999 ## - Системные контрольные номера (Koha) | |
biblionumber (Koha) | 725487 |
No items available.