Scientific Library of Tomsk State University

   E-catalog        

Normal view MARC view

Зависимость свойств ионно-легированных слоев GaAs : Si от дозы имплантации после радиационного отжига (Record no. 722117)

000 -Маркер записи
Контрольное поле постоянной длины 01800naa a2200349 c 4500
001 - Контрольный номер
Контрольное поле koha000722117
005 - Дата корректировки
Контрольное поле 20240603171608.0
008 - Кодируемые данные
Контрольное поле постоянной длины 211124s2002 ru f 100 0 rus d
035 ## - Системный контрольный номер
Системный контрольный номер koha000722117
039 ## - История создания и изменения записи
Создание записи 26
Последнее изменение записи 100
040 ## - Источник каталогиз.
Служба первич. каталог. RU-ToGU
Код языка каталог. rus
Служба, преобразующая запись RU-ToGU
100 1# - Автор
9 (RLIN) 165529
Ф.И.О. Ардышев, Михаил Вячеславович
245 10 - Заглавие
Заглавие Зависимость свойств ионно-легированных слоев GaAs : Si от дозы имплантации после радиационного отжига
Ответственность М. В. Ардышев, В. М. Ардышев, В. Ф. Пичугин
504 ## - Библиография
Библиография Библиогр.: 8 назв.
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова физика полупроводников
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова полупроводники
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова полупроводниковые приборы
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова ионно-легированные слои
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова арсенид галлия
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова кремний
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова имплантация ионов
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова радиационный отжиг
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова экспериментальные исследования
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова полупроводниковые материалы
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова труды ученых ТГУ
700 1# - Другие авторы
9 (RLIN) 165529
Другие авторы Ардышев, Михаил Вячеславович
700 1# - Другие авторы
Другие авторы Пичугин, Владимир Федорович
9 (RLIN) 363880
773 0# - Источник информации
Название источника Восьмая российская конференция "Арсенид галлия и полупроводниковые соединения группы III-V". GaAs-2002, 1-4 октября 2002 г. : материалы конференции
Место и дата издания Томск, 2002
Прочая информация С. 253-255
Контрольный № источника 0183-75860
852 4# - Местонахождение единицы хранения
Код организации-хранителя RU-ToGU
Код страны ru
908 ## - Параметр входа данных
Параметр входа данных статья
942 ## - Дополнительные данные (Коха)
Код системы классификации для розстановки фонда
999 ## - Системные контрольные номера (Koha)
biblionumber (Koha) 722117

No items available.