Normal view
MARC view
Методы и средства контроля процессов и структур in situ (Record no. 436970)
[ view plain ]
| 000 -Маркер записи | |
|---|---|
| Контрольное поле постоянной длины | 04403nam a2200661 i 4500 |
| 001 - Контрольный номер | |
| Контрольное поле | vtls000628523 |
| 005 - Дата корректировки | |
| Контрольное поле | 20210922094715.0 |
| 008 - Кодируемые данные | |
| Контрольное поле постоянной длины | 180607s2016 ru a b 000 0 rus d |
| 020 ## - Индекс ISBN | |
| ISBN | 9785292042822 |
| 020 ## - Индекс ISBN | |
| ISBN | 9785292043935 |
| 035 ## - Системный контрольный номер | |
| Системный контрольный номер | to000628523 |
| 040 ## - Источник каталогиз. | |
| Служба первич. каталог. | RU-ToGU |
| Код языка каталог. | rus |
| Служба, преобразующая запись | RU-ToGU |
| 080 ## - Индекс УДК | |
| Индекс УДК | 620.22-022.532:519.242(075.8) |
| 080 ## - Индекс УДК | |
| Индекс УДК | 620.22-022.532:658.562.2/3.012.7(075.8) |
| 080 ## - Индекс УДК | |
| Индекс УДК | 538.971/975:537.533.35(075.8) |
| 245 10 - Заглавие | |
| Заглавие | Методы и средства контроля процессов и структур in situ |
| Номер части/раздела | Ч. 2 |
| Продолж. заглавия | учебное пособие для бакалавров, магистрантов и аспирантов, обучающихся по направлениям "Физика и астрономия", "Информатика и вычислительная техника", "Электроника, радиотехника и системы связи", "Фотоника, приборостроение, оптические и биотехнические системы и технологии", "Технологии материалов", "Управление в технических системах" : в 2 ч. |
| Ответственность | [Д. И. Биленко, С. Б. Вениг, Д. В. Терин и др.] ; под общ. ред. Д. И. Биленко, С. Б. Венига ; Саратов. гос. ун-т им. Н. Г. Чернышевского |
| 260 ## - Выходные данные | |
| Место издания | Саратов |
| Издательство | Издательство Саратовского университета |
| Дата издания | 2016 |
| 300 ## - Физическое описание | |
| Объем | 114, [1] с. |
| Иллюстрации/тип воспроизводства | ил., табл. |
| 490 1# - Серия | |
| Заглавие серии | Материаловедение и технология новых материалов |
| 500 ## - Примечания | |
| Примечание | Авт. указаны на обороте тит. л. |
| 504 ## - Библиография | |
| Библиография | Библиогр. в конце разд. |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | наноструктуры |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | микроструктуры |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | измерения in situ |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | нанометровые слои |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | обработка данных измерений высокоскоростная |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | управление технологическими факторами |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | управление качеством |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | управление инновациями |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | наноструктуры, мониторинг свойств |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | наноструктуры, мониторинг технологии |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | математическое описание экспрессное |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | разработка технологических процессов научная, методология |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | планирование эксперимента многофакторное |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | измерения in situ многопараметровые |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | измерения in situ параллельные |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | массивы данных многомерные |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | эллипсометры спектральные |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | спектрофотометрия |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | нанослои, формирование |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | массоперенос локальный |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | туннельный эффект |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | нанопроволоки серебра |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | кремний пористый, образование |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | примеси мелкие, концентрация |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | окисление кремния |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | нанополупроводниковые структуры |
| 700 1# - Другие авторы | |
| Другие авторы | Биленко, Давид Исаакович |
| 9 (RLIN) | 484300 |
| 700 1# - Другие авторы | |
| Другие авторы | Вениг, Сергей Борисович |
| 9 (RLIN) | 112130 |
| 700 1# - Другие авторы | |
| Другие авторы | Терин, Денис Владимирович |
| 9 (RLIN) | 484301 |
| 830 #0 - Заголовок добавочной библ.записи на серию — унифицированное заглавие | |
| Унифицированное заглавие | Материаловедение и технология новых материалов |
| 9 (RLIN) | 484302 |
| 852 4# - Местонахождение единицы хранения | |
| Код организации-хранителя | RU-ToGU |
| Полочный индекс | 538.9 |
| Авторский знак | М545 |
| Код страны | ru |
| 907 ## - Конкурс университетская книга | |
| a | Конкурс Университетская книга-2018 |
| 908 ## - Параметр входа данных | |
| Параметр входа данных | учебник |
| 999 ## - Системные контрольные номера (Koha) | |
| biblionumber (Koha) | 436970 |
| Не выдается | Отсутствует на месте | Поврежден | Исходное место хранения | Местоположение | Дата поступления | Цена | Всего выдач | Расстановочный шифр | Штрих-код | Класс экземпляра |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Научная библиотека ТГУ | Книгохранилище | 05/04/2021 | 500.00 | 2-031536 | 13820000969868 | Выдается в читальный зал | ||||
| Научная библиотека ТГУ | Читальный зал 5 | 05/04/2021 | 500.00 | 538.9 М545 | 13820000973714 | Выдается по месту хранения |