Normal view
MARC view
Effect of preliminary vacuum plasma treatment on coating adhesion (Record no. 433564)
[ view plain ]
| 000 -Маркер записи | |
|---|---|
| Контрольное поле постоянной длины | 02013nab a2200337 c 4500 |
| 001 - Контрольный номер | |
| Контрольное поле | vtls000623785 |
| 005 - Дата корректировки | |
| Контрольное поле | 20231113122222.0 |
| 007 - Кодируемые данные (физ. описан.) | |
| Контрольное поле постоянной длины | cr | |
| 008 - Кодируемые данные | |
| Контрольное поле постоянной длины | 180330|2016 xxu s a eng d |
| 024 7# - Прочие стандартные номера | |
| Стандартный номер | 10.1063/1.4966504 |
| Источник номера | doi |
| 035 ## - Системный контрольный номер | |
| Системный контрольный номер | to000623785 |
| 040 ## - Источник каталогиз. | |
| Служба первич. каталог. | RU-ToGU |
| Код языка каталог. | rus |
| Служба, преобразующая запись | RU-ToGU |
| 100 1# - Автор | |
| Автор | Slabodchikov, Vladimir A. |
| 9 (RLIN) | 480425 |
| 245 10 - Заглавие | |
| Заглавие | Effect of preliminary vacuum plasma treatment on coating adhesion |
| Ответственность | V. A. Slabodchikov, D. P. Borisov, V. M. Kuznetsov |
| 504 ## - Библиография | |
| Библиография | Библиогр.: 8 назв. |
| 520 3# - Аннотация | |
| Аннотация | The paper presents research results on the adhesion properties of Si coatings synthesized by different methods and under different conditions of preliminary vacuum ion plasma treatment of substrates with subsequent magnetron sputtering. The substrate surface was pretreated with low-energy ion beams, high-energy ion beams, gas discharge plasma, and plasma produced by a magnetron sputtering system. The vacuum conditions (pump type, pressure, etc.), the ion current density, and the bias parameters (pulse repetition frequency and duration) were varied. The research results demonstrate a considerable effect of plasma immersion ion implantation on the adhesion of Si coatings to NiTi substrates. |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | вакуумная ионно-плазменная обработка |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | подложка |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | магнетронное распыление |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | адгезия |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | покрытия |
| 655 #4 - Термин индексирования — жанр/форма | |
| Жанр/форма | статьи в журналах |
| 9 (RLIN) | 879358 |
| 700 1# - Другие авторы | |
| Другие авторы | Borisov, Dmitry P. |
| 9 (RLIN) | 99824 |
| 700 1# - Другие авторы | |
| Другие авторы | Kuznetsov, Vladimir M. |
| Титул (звание) | физик |
| 9 (RLIN) | 104189 |
| 773 0# - Источник информации | |
| Название источника | AIP Conference Proceedings |
| Место и дата издания | 2016 |
| Прочая информация | Vol. 1783. P. 020210-1-020210-4 |
| ISSN | 0094-243X |
| 852 4# - Местонахождение единицы хранения | |
| Код организации-хранителя | RU-ToGU |
| 856 7# - Электронный адрес документа | |
| URL | <a href="http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000623785">http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000623785</a> |
| 908 ## - Параметр входа данных | |
| Параметр входа данных | статья |
| 999 ## - Системные контрольные номера (Koha) | |
| biblionumber (Koha) | 433564 |
No items available.