Normal view
MARC view
Effect of vacuum conditions and plasma concentration on the chemical composition and adhesion of vacuum-plasma coatings (Record no. 421257)
[ view plain ]
| 000 -Маркер записи | |
|---|---|
| Контрольное поле постоянной длины | 02337nab a2200337 c 4500 |
| 001 - Контрольный номер | |
| Контрольное поле | vtls000577935 |
| 005 - Дата корректировки | |
| Контрольное поле | 20231113122222.0 |
| 007 - Кодируемые данные (физ. описан.) | |
| Контрольное поле постоянной длины | cr | |
| 008 - Кодируемые данные | |
| Контрольное поле постоянной длины | 170620|2015 enk s c eng d |
| 024 7# - Прочие стандартные номера | |
| Стандартный номер | 10.1088/1742-6596/652/1/012020 |
| Источник номера | doi |
| 035 ## - Системный контрольный номер | |
| Системный контрольный номер | to000577935 |
| 040 ## - Источник каталогиз. | |
| Служба первич. каталог. | RU-ToGU |
| Код языка каталог. | rus |
| Служба, преобразующая запись | RU-ToGU |
| 100 1# - Автор | |
| Автор | Borisov, Dmitry P. |
| 9 (RLIN) | 99824 |
| 245 10 - Заглавие | |
| Заглавие | Effect of vacuum conditions and plasma concentration on the chemical composition and adhesion of vacuum-plasma coatings |
| Ответственность | D. P. Borisov, V. M. Kuznetsov, V. A. Slabodchikov |
| 504 ## - Библиография | |
| Библиография | Библиогр.: 3 назв. |
| 520 3# - Аннотация | |
| Аннотация | The paper reports on the chemical composition of titanium nitride (TiN) and silicon (Si) coatings deposited with a new technological vacuum plasma setup which comprises magnetron sputtering systems, arc evaporators, and an efficient plasma generator. It is shown that due to highly clean vacuum conditions and highly clean surface treatment in the gas discharge plasma, both the coating-substrate interface and the coatings as such are almost free from oxygen and carbon. It is found that the coating-substrate interface represents a layer of thickness ≥ 60 nm formed through vacuum plasma mixing of the coating and substrate materials. The TiN coatings obtained on the new equipment display a higher adhesion compared to brass coatings deposited by industrial technologies via intermediate titanium oxide layers. It is concluded that the designed vacuum plasma equipment allows efficient surface modification of materials and articles by vacuum plasma immersion processes. |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | вакуум |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | плазма |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | адгезия |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | покрытие нитридом титана |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | вакуумно-плазменные установки |
| 655 #4 - Термин индексирования — жанр/форма | |
| Жанр/форма | статьи в журналах |
| 9 (RLIN) | 879358 |
| 700 1# - Другие авторы | |
| Другие авторы | Kuznetsov, Vladimir M. |
| Титул (звание) | физик |
| 9 (RLIN) | 104189 |
| 700 1# - Другие авторы | |
| Другие авторы | Slabodchikov, V. A. |
| 9 (RLIN) | 474329 |
| 773 0# - Источник информации | |
| Название источника | Journal of Physics: Conference Series |
| Место и дата издания | 2015 |
| Прочая информация | Vol. 652. P. 012020 (1-5) |
| ISSN | 1742-6588 |
| 852 4# - Местонахождение единицы хранения | |
| Код организации-хранителя | RU-ToGU |
| 856 7# - Электронный адрес документа | |
| URL | <a href="http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000577935">http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000577935</a> |
| 908 ## - Параметр входа данных | |
| Параметр входа данных | статья |
| 999 ## - Системные контрольные номера (Koha) | |
| biblionumber (Koha) | 421257 |
No items available.