Normal view
MARC view
Патентно-информационные исследования применимости некогерентных источников удьтрафиолетового излучения в полупроводниковой промышленности (Record no. 352451)
[ view plain ]
| 000 -Маркер записи | |
|---|---|
| Контрольное поле постоянной длины | 01859naa a2200301 i 4500 |
| 001 - Контрольный номер | |
| Контрольное поле | vtls000480370 |
| 005 - Дата корректировки | |
| Контрольное поле | 20240419171344.0 |
| 008 - Кодируемые данные | |
| Контрольное поле постоянной длины | 140619s2013 ru f 100 0 rus d |
| 035 ## - Системный контрольный номер | |
| Системный контрольный номер | to000480370 |
| 040 ## - Источник каталогиз. | |
| Служба первич. каталог. | RU-ToGU |
| Код языка каталог. | rus |
| Служба, преобразующая запись | RU-ToGU |
| 100 1# - Автор | |
| Автор | Смирнов, А. П. |
| 9 (RLIN) | 194243 |
| 245 10 - Заглавие | |
| Заглавие | Патентно-информационные исследования применимости некогерентных источников удьтрафиолетового излучения в полупроводниковой промышленности |
| Ответственность | А. П. Смирнов, А. Г. Ситников, Е. А. Новосельцева |
| 504 ## - Библиография | |
| Библиография | Библиогр.: 6 назв. |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | инновационные технологии |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | инновационные проекты |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | ультрафиолетовое излучение |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | полупроводниковая промышленность |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | труды ученых ТГУ |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | патентно-информационные исследования |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | эксилампы |
| 700 1# - Другие авторы | |
| Другие авторы | Ситников, Алексей Геннадьевич |
| 9 (RLIN) | 77009 |
| 700 1# - Другие авторы | |
| Другие авторы | Новосельцева, Евгения Александровна |
| 9 (RLIN) | 235846 |
| 773 0# - Источник информации | |
| Название источника | Инноватика - 2013 : сборник материалов IX Всероссийской школы-конференции студентов, аспирантов и молодых ученых с международным участием (23-25 апреля 2013 г., Томск, Россия) |
| Место и дата издания | Томск, 2013 |
| Прочая информация | С. 126-129 |
| ISBN | 9785946214223 |
| Контрольный № источника | to000470336 |
| 852 ## - Местонахождение единицы хранения | |
| Код организации-хранителя | RU-ToGU |
| 908 ## - Параметр входа данных | |
| Параметр входа данных | статья |
| 999 ## - Системные контрольные номера (Koha) | |
| biblionumber (Koha) | 352451 |
No items available.