Normal view
MARC view
Учебно-методическое пособие для самостоятельной работы студентов по дисциплине "Технология наносистем" (Record no. 318422)
[ view plain ]
| 000 -Маркер записи | |
|---|---|
| Контрольное поле постоянной длины | 02077nam a2200349 i 4500 |
| 001 - Контрольный номер | |
| Контрольное поле | vtls000430916 |
| 005 - Дата корректировки | |
| Контрольное поле | 20210922054417.0 |
| 008 - Кодируемые данные | |
| Контрольное поле постоянной длины | 120830s2011 ru a b 000 0 rus d |
| 035 ## - Системный контрольный номер | |
| Системный контрольный номер | to000430916 |
| 040 ## - Источник каталогиз. | |
| Служба первич. каталог. | RU-ToGU |
| Код языка каталог. | rus |
| Служба, преобразующая запись | RU-ToGU |
| 080 ## - Индекс УДК | |
| Индекс УДК | 621.38.049.77-022.532(075.8) |
| 100 1# - Автор | |
| Автор | Тимошенков, Сергей Петрович |
| Дата | 1957- |
| 9 (RLIN) | 86389 |
| 245 10 - Заглавие | |
| Заглавие | Учебно-методическое пособие для самостоятельной работы студентов по дисциплине "Технология наносистем" |
| Продолж. заглавия | [по направлению 210100 "Электроника и наноэлектроника] |
| Ответственность | С. П. Тимошенков, В. В. Калугин ; Нац. исслед. ун-т "МИЭТ" |
| 260 ## - Выходные данные | |
| Место издания | Москва |
| Издательство | МИЭТ |
| Дата издания | 2011 |
| 300 ## - Физическое описание | |
| Объем | 24 с. |
| Иллюстрации/тип воспроизводства | ил. |
| 490 10 - Серия | |
| Заглавие серии | Учебно-методический комплекс для бакалавров. Направление "Наноэлектроника" |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | учебно-методические комплексы |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | кремний-на-изоляторе, технология |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | микроэлектроника |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | наноэлектроника |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | кремниевые пластины |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | методы сращивания пластин |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | метод газового скалывания |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | имплантация ионов водорода |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | поверхности полупроводников |
| 700 1# - Другие авторы | |
| Другие авторы | Калугин, Виктор Владимирович |
| 9 (RLIN) | 212176 |
| 830 ## - Заголовок добавочной библ.записи на серию — унифицированное заглавие | |
| Унифицированное заглавие | Учебно-методический комплекс для бакалавров. Направление "Наноэлектроника" |
| 9 (RLIN) | 260617 |
| 852 4# - Местонахождение единицы хранения | |
| Код организации-хранителя | RU-ToGU |
| Полочный индекс | 621.3 |
| Авторский знак | У912 |
| Код страны | ru |
| 908 ## - Параметр входа данных | |
| Параметр входа данных | учебник |
| 999 ## - Системные контрольные номера (Koha) | |
| biblionumber (Koha) | 318422 |
| Не выдается | Отсутствует на месте | Поврежден | Исходное место хранения | Местоположение | Дата поступления | Цена | Всего выдач | Расстановочный шифр | Штрих-код | Класс экземпляра |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Научная библиотека ТГУ | Книгохранилище | 04/04/2021 | 50.00 | 2-006705к | 13820000816011 | Выдается в читальный зал |