Scientific Library of Tomsk State University

   E-catalog        

Normal view MARC view

Материаловедение в микроэлектронике (Record no. 225936)

000 -Маркер записи
Контрольное поле постоянной длины 03137nam a2200565 i 4500
001 - Контрольный номер
Контрольное поле vtls000350144
005 - Дата корректировки
Контрольное поле 20230319173058.0
007 - Кодируемые данные (физ. описан.)
Контрольное поле постоянной длины cr |
008 - Кодируемые данные
Контрольное поле постоянной длины 121204s1978 ru a fsb 000 0 rus d
035 ## - Системный контрольный номер
Системный контрольный номер to000350144
040 ## - Источник каталогиз.
Служба первич. каталог. RU-ToGU
Код языка каталог. rus
Служба, преобразующая запись RU-ToGU
080 ## - Индекс УДК
Индекс УДК 621.382.049.77.002.3
080 ## - Индекс УДК
Индекс УДК 621.315.5:538.9
100 1# - Автор
Автор Палатник, Лев Самойлович.
9 (RLIN) 178639
245 10 - Заглавие
Заглавие Материаловедение в микроэлектронике
Ответственность Л. С. Палатник, В. К. Сорокин
260 ## - Выходные данные
Место издания Москва
Издательство Энергия
Дата издания 1978
300 ## - Физическое описание
Объем 277, [2] с.
Иллюстрации/тип воспроизводства ил.
490 1# - Серия
Заглавие серии Электронное материаловедение
504 ## - Библиография
Библиография Библиогр.: с. 268-278
530 ## - Примечание о допольнительных формах
Источник доступа Получено из INTERNET
538 ## - Примечание о системных особенностях
Примечание о системных особенностях Систем. требования: djvu Plug-in for brausers
540 ## - Примечание об условиях использования и воспроизведения
Terms governing use and reproduction " ...пользование допускается без согласия автора или иного правообладателя и без выплаты вознаграждения. При этом выраженные в цифровой форме экземпляры произведений, предоставляемые библиотеками во временное безвозмездное пользование … могут предоставляться только в помещениях библиотек при условии исключения возможности создать копии этих произведений в цифровой форме" (Гражданский кодекс РФ, ч. 4).
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова микроэлектроника
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова материалы электронной техники
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова полупроводники
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова металлы
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова диэлектрики
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова адсорбция
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова поверхности газов
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова поверхности паров
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова диффузия
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова примеси
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова пленочные материалы
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова резистивные пленки
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова эпитаксиальные пленки
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова твердые тела
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова физика поверхности
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова поверхности раздела
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова атомное строение
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова дефекты кристаллов
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова материаловедение вакуумное
653 ## - Ключевые слова
Ключевые слова планарные технологии
655 #4 - Термин индексирования — жанр/форма
Жанр/форма монографии
9 (RLIN) 879346
700 1# - Другие авторы
Другие авторы Сорокин, Вадим Константинович
9 (RLIN) 302778
830 #0 - Заголовок добавочной библ.записи на серию — унифицированное заглавие
Унифицированное заглавие Электронное материаловедение
9 (RLIN) 271360
852 4# - Местонахождение единицы хранения
Код организации-хранителя RU-ToGU
Код страны ru
856 7# - Электронный адрес документа
URL <a href="http://sun.tsu.ru/limit/2016/000350144/000350144.djvu">http://sun.tsu.ru/limit/2016/000350144/000350144.djvu</a>
999 ## - Системные контрольные номера (Koha)
biblionumber (Koha) 225936
Holdings
Не выдается Отсутствует на месте Поврежден Исходное место хранения Местоположение Дата поступления Цена Всего выдач Расстановочный шифр Штрих-код Класс экземпляра
      Научная библиотека ТГУ Книгохранилище 04/04/2021 1.10   1-302365к 13820000685966 Выдается в читальный зал
      Научная библиотека ТГУ Книгохранилище 04/04/2021 1.10   1-300770 13820000656003 1 месяц