Normal view
MARC view
Материаловедение в микроэлектронике (Record no. 225936)
[ view plain ]
| 000 -Маркер записи | |
|---|---|
| Контрольное поле постоянной длины | 03137nam a2200565 i 4500 |
| 001 - Контрольный номер | |
| Контрольное поле | vtls000350144 |
| 005 - Дата корректировки | |
| Контрольное поле | 20230319173058.0 |
| 007 - Кодируемые данные (физ. описан.) | |
| Контрольное поле постоянной длины | cr | |
| 008 - Кодируемые данные | |
| Контрольное поле постоянной длины | 121204s1978 ru a fsb 000 0 rus d |
| 035 ## - Системный контрольный номер | |
| Системный контрольный номер | to000350144 |
| 040 ## - Источник каталогиз. | |
| Служба первич. каталог. | RU-ToGU |
| Код языка каталог. | rus |
| Служба, преобразующая запись | RU-ToGU |
| 080 ## - Индекс УДК | |
| Индекс УДК | 621.382.049.77.002.3 |
| 080 ## - Индекс УДК | |
| Индекс УДК | 621.315.5:538.9 |
| 100 1# - Автор | |
| Автор | Палатник, Лев Самойлович. |
| 9 (RLIN) | 178639 |
| 245 10 - Заглавие | |
| Заглавие | Материаловедение в микроэлектронике |
| Ответственность | Л. С. Палатник, В. К. Сорокин |
| 260 ## - Выходные данные | |
| Место издания | Москва |
| Издательство | Энергия |
| Дата издания | 1978 |
| 300 ## - Физическое описание | |
| Объем | 277, [2] с. |
| Иллюстрации/тип воспроизводства | ил. |
| 490 1# - Серия | |
| Заглавие серии | Электронное материаловедение |
| 504 ## - Библиография | |
| Библиография | Библиогр.: с. 268-278 |
| 530 ## - Примечание о допольнительных формах | |
| Источник доступа | Получено из INTERNET |
| 538 ## - Примечание о системных особенностях | |
| Примечание о системных особенностях | Систем. требования: djvu Plug-in for brausers |
| 540 ## - Примечание об условиях использования и воспроизведения | |
| Terms governing use and reproduction | " ...пользование допускается без согласия автора или иного правообладателя и без выплаты вознаграждения. При этом выраженные в цифровой форме экземпляры произведений, предоставляемые библиотеками во временное безвозмездное пользование … могут предоставляться только в помещениях библиотек при условии исключения возможности создать копии этих произведений в цифровой форме" (Гражданский кодекс РФ, ч. 4). |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | микроэлектроника |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | материалы электронной техники |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | полупроводники |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | металлы |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | диэлектрики |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | адсорбция |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | поверхности газов |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | поверхности паров |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | диффузия |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | примеси |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | пленочные материалы |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | резистивные пленки |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | эпитаксиальные пленки |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | твердые тела |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | физика поверхности |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | поверхности раздела |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | атомное строение |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | дефекты кристаллов |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | материаловедение вакуумное |
| 653 ## - Ключевые слова | |
| Ключевые слова | планарные технологии |
| 655 #4 - Термин индексирования — жанр/форма | |
| Жанр/форма | монографии |
| 9 (RLIN) | 879346 |
| 700 1# - Другие авторы | |
| Другие авторы | Сорокин, Вадим Константинович |
| 9 (RLIN) | 302778 |
| 830 #0 - Заголовок добавочной библ.записи на серию — унифицированное заглавие | |
| Унифицированное заглавие | Электронное материаловедение |
| 9 (RLIN) | 271360 |
| 852 4# - Местонахождение единицы хранения | |
| Код организации-хранителя | RU-ToGU |
| Код страны | ru |
| 856 7# - Электронный адрес документа | |
| URL | <a href="http://sun.tsu.ru/limit/2016/000350144/000350144.djvu">http://sun.tsu.ru/limit/2016/000350144/000350144.djvu</a> |
| 999 ## - Системные контрольные номера (Koha) | |
| biblionumber (Koha) | 225936 |
| Не выдается | Отсутствует на месте | Поврежден | Исходное место хранения | Местоположение | Дата поступления | Цена | Всего выдач | Расстановочный шифр | Штрих-код | Класс экземпляра |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Научная библиотека ТГУ | Книгохранилище | 04/04/2021 | 1.10 | 1-302365к | 13820000685966 | Выдается в читальный зал | ||||
| Научная библиотека ТГУ | Книгохранилище | 04/04/2021 | 1.10 | 1-300770 | 13820000656003 | 1 месяц |